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| 关于浅结测量的电解水氧化显微法的探讨 | |
| 引用本文： | 郑丽荣,吴筱屏.关于浅结测量的电解水氧化显微法的探讨[J].半导体技术,1985(3). |
| 作者姓名： | 郑丽荣 吴筱屏 |
| 作者单位： | 湖南大学 (郑丽荣)，湖南大学(吴筱屏) |
| 摘 要： | 本文在实验的基础上,对电解水氧化显微法测量结深的三种方法进行了分析,为了提高测量精度,在实验方法上作了新的尝试;并将测量结果与阳极氧化法,理论计算值进行比较.分析认为电解水氧化显微法的两种测试结深的方法——干涉条纹法和相似比法是更为精确可靠的. |
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