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Al—Si（1%）金属化电迁移参数的测定

引用本文：	张蓓榕,祝伟明.Al—Si（1%）金属化电迁移参数的测定[J].微电子学与计算机,1990,7(9):43-46.

作者姓名：	张蓓榕祝伟明

摘要：
关键词：	金属化电迁移半导体器件
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