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| 一种新型大容量磁盘驱动器研究 | |
| 引用本文： | 华诚,张江陵.一种新型大容量磁盘驱动器研究[J].微电子学与计算机,1990,7(1):10-13. |
| 作者姓名： | 华诚 张江陵 |
| 摘 要： | 一种容量达1250MB的磁盘驱动器正在研究中，其关键是利用电子束曝光及半导体工艺技术，本文对高速、大容量磁盘驱动器进行了探索，利用电子速及离子束技术完成了伺服盘的刻蚀工作，伺服盘道密度近2000TPI。 |
| 关 键 词： | 磁盘驱动器 光刻 电子束曝光 半导体工艺 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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