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| uc—Si：H／a—Si：H多层膜的制备及性质 | |
| 引用本文： | 郑家贵,冯良桓.uc—Si：H／a—Si：H多层膜的制备及性质[J].半导体学报,1992,13(1):54-61. |
| 作者姓名： | 郑家贵 冯良桓 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 非晶硅 半导体 多层膜 制造 a－Si：H |
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