| 27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布 |
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| 引用本文： | 王震遐,陶振兰,郑里平,曹德新,邹志宜,周祖尧,周伟. 27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布[J]. 核技术, 1988, 0(4) |
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| 作者姓名： | 王震遐 陶振兰 郑里平 曹德新 邹志宜 周祖尧 周伟 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海原子核研究所(王震遐，陶振兰，郑里平，曹德新，邹志宜)，中国科学院上海冶金研究所(周祖尧)，中国科学院上海冶金研究所(周伟) |
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| 摘 要： | 用27keV Ar~+分别在垂直和倾斜入射情况下,轰击了Cu-Au(30wt％)合金样品,测量了Cu和Au原子的溅射角分布。角分布是用卢瑟福背散射(RBS)技术分析Al捕获膜上的Cu-Au沉积成分而定量得到的。结果表明:(1)在Ar~+倾斜(θ=40°)入射时,Cu原子择优发射,且程度比垂直入射(θ_r=O°)时增强:(2)倾斜入射时,Cu原子的角分布显示出在接近于样品表面法线方向的发射角范围内(θ<45°),发射机率比垂直入射时减小。
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| 关 键 词： | 倾斜入射 角分布 择优发射 |
The experimental sputtering angular distribution of Cu-Au alloy with 27 keV oblique incident Ar~+ ion beam |
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| Wang Zhenxia Tao Zhenlan Zheng Liping Cao Dexin Zou Zhiyi. The experimental sputtering angular distribution of Cu-Au alloy with 27 keV oblique incident Ar~+ ion beam[J]. Nuclear Techniques, 1988, 0(4) |
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| Authors: | Wang Zhenxia Tao Zhenlan Zheng Liping Cao Dexin Zou Zhiyi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | oblique incidence angular distribution preferential ejection |
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