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国外半导体设备发展动态和市场趋势
作者姓名:谢中生
作者单位:电子工业部第四十五研究所
摘    要:本文简要介绍了国外半导体设备发展的走向和特点,重点列举了关键工艺设备的代表产品发展状况,并阐述了国外半导体设备市场及投资趋势。

关 键 词:国外,半导体设备,发展动态,市场,投资趋势
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