| 八臂梁硅微加速度计横向灵敏度仿真分析 |
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| 引用本文： | 满仲鹏,陈智刚,岳连永.八臂梁硅微加速度计横向灵敏度仿真分析[J].弹箭与制导学报,2008,28(4). |
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| 作者姓名： | 满仲鹏 陈智刚 岳连永 |
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| 作者单位： | 中北大学机械电子工程学院,太原,030051 |
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| 基金项目： | 山西省留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 应用ANSYS软件对MEMS器件——八悬臂梁硅微加速度计的横向灵敏度进行了仿真。仿真时分别在此器件的X轴、Y轴、Z轴单独加一个加速度，分析另外两个轴的输出，便可以得出其横向灵敏度。依据仿真结果，可先求出各个输出轴对应的梁的应力，即可算出其电阻的变化量，从而计算出输出轴的输出电压。
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| 关 键 词： | MEMS 硅微加速度计 加速度 仿真 |
Simulation and Analysis of Cross Sensitivity of Eight-cantilever Silicon Micro Accelerometer |
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| MAN Zhongpeng,CHEN Zhigang,YUE Lianyong.Simulation and Analysis of Cross Sensitivity of Eight-cantilever Silicon Micro Accelerometer[J].Journal of Projectiles Rockets Missiles and Guidance,2008,28(4). |
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| Authors: | MAN Zhongpeng CHEN Zhigang YUE Lianyong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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