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| 硅传感器的发展趋势 | |
| 作者姓名： | 米德. S 刘志伟 |
| 作者单位： | 荷兰岱尔夫特大学电子工程系 教授 |
| 摘 要： | 一、引言 硅传感器已有三十多年历史。开始用于p—n结测光并根据p—n结温敏特性制作了简单的温度传感器。六十年代,人们在硅材料研究工作中,发现了霍尔效应和压阻效应。然而,由于我们仍处在信息社会的初级阶段,无法认识到未来几年高性能/价格比 |
| 关 键 词： | 硅传感器 传感器 发展 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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