| C-90%SiC涂层加热处理前后形貌特征及其阻氢性能的研究 |
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| 引用本文： | 曾俊辉,杜良,张东,杜纪富,杨淑勤,张瑞谦,任丁,黄宁康.C-90%SiC涂层加热处理前后形貌特征及其阻氢性能的研究[J].真空,2009,46(3). |
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| 作者姓名： | 曾俊辉 杜良 张东 杜纪富 杨淑勤 张瑞谦 任丁 黄宁康 |
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| 作者单位： | 1. 中国工程物理研究院核物理与化学研究所,四川,绵阳,621900
2. 四川大学原子核科学技术研究所,四川,成都,610064 |
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| 摘 要： | 对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积C-90%SiC涂层进行不同温度的加热处理及H+注入.对加热处理前后H+注入涂层表面进行了SEM的观察,研究涂层表面加热处理前后鼓泡数量及分布的变化.通过AFM分析,研究涂层内沉积颗粒大小、形状以及分布与加热处理温度的关系.通过SEM-EDAX测量,研究涂层内组元分布的变化.涂层的H+注入的二次离子深度分布测量表明,试样经加热处理后,涂层的阻氢能力得到进一步的提高.
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| 关 键 词： | C-90％SiC涂层 阻氢性能 |
On the morphology and hydrogen resistance of C-90%SiC coatings before and after heating |
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| ZENG Jun-hui,DU Liang,ZHANG Dong,DU Ji-fu,YANG Shu-qin,ZHANG Rui-qian,REN Ding,HUANG Ning-kang.On the morphology and hydrogen resistance of C-90%SiC coatings before and after heating[J].Vacuum,2009,46(3). |
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| Authors: | ZENG Jun-hui DU Liang ZHANG Dong DU Ji-fu YANG Shu-qin ZHANG Rui-qian REN Ding HUANG Ning-kang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SEM AFM |
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