| 压电薄膜型精密运动平台研究 |
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| 引用本文： | 华顺明,张宏壮,程光明,范尊强,刘建芳.压电薄膜型精密运动平台研究[J].光学精密工程,2006,14(4):635-640. |
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| 作者姓名： | 华顺明 张宏壮 程光明 范尊强 刘建芳 |
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| 作者单位： | 吉林大学,机械工程学院,吉林,长春,130025;吉林大学,机械工程学院,吉林,长春,130025;吉林大学,机械工程学院,吉林,长春,130025;吉林大学,机械工程学院,吉林,长春,130025;吉林大学,机械工程学院,吉林,长春,130025 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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高等学校博士学科点专项科研项目
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吉林省长春市科技局科技计划 |
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| 摘 要： | 提出了一种利用双压电晶片驱动小型平台的研究方案,该平台可实现水平面内的两自由度精密运动.在对粘滑型运动机构的工作原理进行分析的基础上,建立了压电式粘滑机构的动力学模型并进行了仿真分析,设计研制了试验样机,并从运动性能和承载能力两个方面对样机进行了实验研究.实验结果表明,设计的压电薄膜型精密运动平台结构简单、体积小、质量轻、步距稳定且行程大,电压低于30 V驱动时,步距误差不超过0.5μm,承载能力约为自身质量的7～8倍.
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| 关 键 词： | 压电双晶片 精密运动平台 粘滑效应 微操作 微小机器人 |
| 文章编号： | 1004-924X(2006)04-0635-06 |
| 收稿时间： | 2005-07-22 |
| 修稿时间： | 2006-06-18 |
Research on precise traveling positioning stage driven by piezoelectric bimorph |
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| HUA Shun-ming,ZHANG Hong-zhuang,CHENG Guang-ming,FAN Zun-qiang,LIU Jian-fang.Research on precise traveling positioning stage driven by piezoelectric bimorph[J].Optics and Precision Engineering,2006,14(4):635-640. |
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| Authors: | HUA Shun-ming ZHANG Hong-zhuang CHENG Guang-ming FAN Zun-qiang LIU Jian-fang |
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| Affiliation: | College of Mechanical Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130025, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric bimorph precise positioning stage stick-slip effect micro-manipulation micro robot |
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