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| BG－101J分步光刻机检测记录（三）自动调焦检测 | |
| 摘 要： | ＢＧ—１０１Ｊ分步光刻机检测记录（三）自动调焦检测一、测试仪器名称：千分表仪器精度：２％温度：二、测试日期９４．１２．１０测试人：杨顺三、键盘输入改变量＋５００脉冲－５００脉冲仪器示值：４２μｍ－２２４μｍ４２μｍ－２２５μｍ四、最大调焦范围±１８２... |
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