全息光子晶体LED的制作技术 |
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作者姓名: | 刘守 张向苏 林瀚 刘影 |
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摘 要: | 在发光二极管(LED)表面制作二维光子晶体可以提高其外量子效率。本文提出一种利用激光全息技术将二维光子晶体结构制作于LED表面的新方法。这种二维光子晶体基于光栅衍射原理将限制在LED内的波导光提取出来。初步实验结果显示当在GaN基蓝光LED表面的ITO电流扩展层制作晶格常数为1.2微米、深度约0.2微米的二维六角光子晶体时,LED的发光强度提高了35%。
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关 键 词: | 全息光子晶体 LED 外量子效率 发光强度 |
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