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电子束曝光机复合调整式30KV电源
引用本文:陈振生 雷海亮. 电子束曝光机复合调整式30KV电源[J]. 微细加工技术, 1997, 0(2): 14-19
作者姓名:陈振生 雷海亮
作者单位:山东工业大学自动化系!济南,250061,山东工业大学自动化系!济南,250061,山东工业大学自动化系!济南,250061
摘    要:介绍了复合调整式高压电源的总体设计方案,提出实现高压电源高稳定度的关键技术措施。

关 键 词:电子束曝光机  高压电源  复合调整  高稳定度

A COMBINED REGULATION TYPE HIGH-VOLTAGE POWER SUPPLY FOR ELECTRON BEAM EXPOSURE MACHINE
Chen Zhensheng, Lei Hailiang, Yang Lieai. A COMBINED REGULATION TYPE HIGH-VOLTAGE POWER SUPPLY FOR ELECTRON BEAM EXPOSURE MACHINE[J]. Microfabrication Technology, 1997, 0(2): 14-19
Authors:Chen Zhensheng   Lei Hailiang   Yang Lieai
Abstract:The general design project of a combined regulation type high voltage power supply is described. The key technical measures for obtaining high stability of the power supply are introduced.
Keywords:electron beam exposure machine  high voltage power supply  combined regulation  high stability  
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