离子束溅射原位沉积高温超导薄膜的机理与实验研究 |
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引用本文: | 郝建华,赵兴荣.离子束溅射原位沉积高温超导薄膜的机理与实验研究[J].微细加工技术,1997(3):32-39. |
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作者姓名: | 郝建华 赵兴荣 |
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摘 要: | 理论计算了氩离子束溅射Y-Ba-Cu-O靶的组分原子溅射率,得出了溅射过程中存在Cu原子溅射率偏低的“择优溅射”效应。通过分析原位形成高温超导薄膜的实现条件,表示出了离子束溅射原位成膜的基本过程。实验上采用分子氧辅助沉积技术,用离子束溅射法原位外延出YBa2Cu3-O超导薄膜。讨论了试验条件对薄膜特性的影响。提得到的实验结果与理论分析相一致。
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关 键 词: | 超导薄膜 离子束溅射 成膜机理 原位沉积 |
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