200~1 100 nm光响应测试系统的研制 |
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作者姓名: | 陈武 王勇 王水弟 |
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作者单位: | 清华大学微电子学研究所!北京100084(陈武,王勇,王水弟,单一林),DetectionTechnologyInc.!Finland(MikkoMatikkala) |
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摘 要: | 设计并制作了200~1100nm的光响应测试系统,该系统工作稳定可靠,并可消除光源拌动和突发性光源对测试的影响。
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关 键 词: | 紫外光 光响应 测试系统 光探测器 |
文章编号: | 1001-5868(2000)04-0291-02 |
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