| 微波ECR大面积磁场的模拟与设计 |
| |
| 引用本文： | 高旭东,杨银堂. 微波ECR大面积磁场的模拟与设计[J]. 电子器件, 2004, 27(1): 44-48 |
| |
| 作者姓名： | 高旭东 杨银堂 |
| |
| 作者单位： | 西安电子科技大学,微电子研究所,西安,710071;西安电子科技大学,微电子研究所,西安,710071 |
| |
| 摘 要： | 针对ECR大面积磁场的模拟和设计。在了解ECR磁场的构成的基础上，通过模型推理和实测修正得到小磁块的场强分布函数，进而得到叠加磁场的场强分布函数。然后通过编程，用软件实现对ECR大面积磁场的模拟，进一步优化了磁场的设计，证实该磁场可用于实现高质量ECR等离子体源。
|
| 关 键 词： | 电子回旋共振 磁偶极子 电偶极子 磁场强度 |
| 文章编号： | 1005-9490(2004)01-0044-05 |
Simulation and Design of Microwave ECR Large-area Magnetic Field |
| |
| GAO Xu-dong,YANG Yin-tang. Simulation and Design of Microwave ECR Large-area Magnetic Field[J]. Journal of Electron Devices, 2004, 27(1): 44-48 |
| |
| Authors: | GAO Xu-dong YANG Yin-tang |
| |
| Abstract: | A simulation and design of ECR magnetic field is presented. With the structure of ECR magnetic field, we obtain the distributed function of a small magnetic block by model reasoning and modifying, and the distributed function of folded magnetic field. A software is programed to realize the simulation, to optimizer the design of magnetic field and to make it sure that this magnetic field can be used to realize the plasma source superior in quality. |
| |
| Keywords: | ECR magnetic monopole electric monopole magnetic field intensity |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《电子器件》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《电子器件》下载全文 |
