纳米晶硅薄膜的脉冲热加工

采用高密度红外加热的脉冲热加工(PTP)可革新功能材料的加工技术。PTP由于温度高、暴露时间短，使其能快速加工功能材料，如非晶Si(a-Si)、多晶Si以及其它薄膜和纳米颗粒，加工时间只有零点几秒到几秒且可使用多种衬底。而用一般加工技术制备上述材料往往要几个小时。故PTP可大幅度提高生产效率，减少热能消耗。