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| 溅射离子泵的寿命试验 | |
| 引用本文： | 高见进,福本定吉,陆经.溅射离子泵的寿命试验[J].真空,1977(6). |
| 作者姓名： | 高见进 福本定吉 陆经 |
| 作者单位： | 日本国立高能物理试验室，日本国立高能物理试验室，中国科学院高能物理研究所二室 |
| 摘 要： | ＫＥＫ质子同步加速器的予注入器用了四个１０００升／秒的溅射离子系来抽双等离子体离子源的大量气体负载。为了估计泵单元的寿命，一个５００升／秒二极溅射泵在大约３×１０－５乇氢气压力下运行１０００小时以上。泵单元稍微作了改进以防止钛阴极板的变形。抽速由一个１Ｃｍ直径的园形小孔的两边压差来确定。即使钛板几乎没有变化，但抽速从开始时的５００升／秒减小到试验终了时的３５０升／秒。化学分析表明氢分子不是均匀地扩散在整块钛板上的。 |
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