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| 塑料径迹探测器蚀刻槽控温精度的改进 | |
| 作者姓名： | 任国孝 |
| 作者单位： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 摘 要： | 塑料径迹探测器的电荷分辨本领决定于材料本身结构的均匀性、蚀刻温度的稳定性、蚀刻液浓度的一致性等。特别在宇宙线实验中,探测器的面积大、数量多,需要大容积的蚀刻槽,有时还需要分批进行蚀刻。所以,蚀刻温度的控制以及槽内温度的分布对于探测器的电荷分辨本领有着重要的影响。塑料径迹探测器的蚀刻速率V与蚀刻温度T有如下关系: |
| 关 键 词： | 蚀刻槽 控温精度 |
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