| 过渡金属Mn对SiC薄膜的结构和光学性能的影响 |
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| 引用本文： | 宋曙光,沈鸿烈,王美玲,高超,袁成逸.过渡金属Mn对SiC薄膜的结构和光学性能的影响[J].真空科学与技术学报,2008,28(3):240-243. |
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| 作者姓名： | 宋曙光 沈鸿烈 王美玲 高超 袁成逸 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学,材料科学与技术学院,南京,210016 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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南京航空航天大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射的方法在Si衬底上制备了掺Mn的SiC薄膜，用X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、扫描电镜及荧光光谱等方法，对薄膜的结构、表面形貌、化学键状态和光学性能进行了研究。结果表明：掺Mn使SiC晶格发生畸变，X射线衍射峰强度下降，Si-C键振动减弱；同时，由于掺Mn后提供了更多的Si空位复合发光中心，SiC薄膜在近带边414nm处的室温光荧光峰增强为1．3倍。
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| 关 键 词： | SiC薄膜 磁控溅射 过渡金属Mn 光学性能 过渡金属 薄膜 结构和光学性能 影响 SiC Films Optical Properties Microstructures Manganese Doping 增强 荧光峰 温光 带边 复合发光中心 空位 键振动 衍射峰强度 射线 畸变 发生 晶格 |
| 文章编号： | 1672-7126(2008)03-240-04 |
| 修稿时间： | 2007年7月31日 |
Influence of Manganese Doping on Microstructures and Optical Properties of SiC Films |
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| Song Shuguang,Shen Honglie,Wang Meiling,Gao Chao,Yuan Chengyi.Influence of Manganese Doping on Microstructures and Optical Properties of SiC Films[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2008,28(3):240-243. |
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| Authors: | Song Shuguang Shen Honglie Wang Meiling Gao Chao Yuan Chengyi |
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