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| GaAs,GaP,InP,GaInAs,GaInpAs晶体表面碳污染的去除 | |
| 引用本文： | 陶兆民,夏长虹.GaAs,GaP,InP,GaInAs,GaInpAs晶体表面碳污染的去除[J].电子科学学刊,1989,11(1):107-112. |
| 作者姓名： | 陶兆民 夏长虹 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 晶体表面 碳污染 UV／O3法 AES |
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