|
|||||
|
|
| 激光微调电阻值技术 | |
| 引用本文： | 竺佩芳,阎吉祥.激光微调电阻值技术[J].激光与红外,1985(7). |
| 作者姓名： | 竺佩芳 阎吉祥 |
| 摘 要： | 一、引言随着微电子工业发展,对厚、薄膜电路的需要量越来越大,对精度的要求也越来越高。激光微调技术已在很多国家得到应用。激光用于调整厚、薄膜电路及硅上薄膜电路中的电阻、电容特别有效;如高精度单片集成的数模转换器用激光微调容易实现,还可调整电路中的某些元件参数,使电路达到总技术指标。本文着重论述的是最基本的微调,即对电阻的阻值的微调。现代微电子设备中常用两种电阻膜:(1)薄膜电路。用钽或镍铬合金或铬硅材料通过真 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《激光与红外》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《激光与红外》下载全文 | |