铸锭炉改进对多晶硅固-液界面影响的数值模拟

使用COMSOL Multiphysics模拟软件对多晶硅定向凝固炉内热场进行分析,将坩埚侧壁倾斜一定角度并在坩埚与护板之间的倾角间隙处添加一个内衬块,研究并分析了坩埚侧壁倾斜角为0、2°、3°、4°和5°时对多晶硅定向凝固过程中不同时期的固-液界面产生的影响。结果表明,当坩埚倾角为4°时,坩埚侧壁与底部的热通量比坩埚倾角为0时均要小,其固-液界面都较为平直,且在定向凝固中后期曲率值都较小,这有利于阻止晶粒的倾斜,保证硅锭的品质。