| 基于MEMS技术的微波(RF)滤波器的设计 |
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| 引用本文： | 乔东海.基于MEMS技术的微波(RF)滤波器的设计[J].中国机械工程,2005,16(Z1):158-160. |
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| 作者姓名： | 乔东海 |
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| 作者单位： | 中国科学院声学研究所,北京,100080 |
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| 摘 要： | 微波MEMS(RF-MEMS)滤波器是一种基于硅微加工技术的新型器件.由于RF-MEMS器件具有体积小、承受功率大、性能优良、成本低以及易于与后续的电路集成等突出优点,因此,由薄膜体声波谐振器(FBAR)构成的RF-MEMS滤波器在微波通讯系统的射频前端将取代传统的声表面波(SAW)滤波器.从以MEMS技术制作的薄膜体声波谐振器(FBAR)为基本单元构成梯子式(Ladder type)射频滤波器的原理出发,对滤波器的性能和设计进行分析,并对实际滤波器中的问题进行了较详细的探讨.
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| 关 键 词： | 射频滤波器 MEMS器件 薄膜体声波谐振器 滤波器设计 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0158-03 |
| 修稿时间： | 2005年4月6日 |
Design of RF BAW Filter Using Surface Micromachining Technology |
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| Donghai Qiao.Design of RF BAW Filter Using Surface Micromachining Technology[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):158-160. |
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| Authors: | Donghai Qiao |
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