| 用于义齿压力分布式测量的光纤MEMS压力传感器 |
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| 引用本文： | 郑志霞,黄元庆,冯勇建.用于义齿压力分布式测量的光纤MEMS压力传感器[J].光电子．激光,2012(12):2261-2266. |
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| 作者姓名： | 郑志霞 黄元庆 冯勇建 |
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| 作者单位： | 莆田学院电子信息工程系;厦门大学机电工程系;厦门大学机电工程系 |
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| 基金项目： | 国家国际合作基金(2011DFR11160);福建省高校产学研合作重大基金(3502Z20103012);莆田市自然科学基金(2010G03)资助项目 |
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| 摘 要： | 根据Fabry-Prot(F-P)腔的干涉原理,采用微机电系统(MEMS)工艺,研制出一种用于义齿压力检测的F-P腔光纤微型压力传感器。传感器膜片厚为6μm,膜片边长为100μm。在与义齿基托相同材料的树脂底基上,挖边长为1.2mm、深度为0.8mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器加压测试。用双波长方法解调干涉信号,用阵列波导光栅(AWG)复用传感器,从而实现对口腔义齿下方组织压力的分布式测量。测量结果表明,当义齿加载0～0.6MPa压力时,系统的相对反射率比值/压力可达0.020 1/MPa,测量结果具有良好的线性度,测量系统的复用能力强,且复用传感器之间没有串扰,适用于义齿对口腔下方组织压力的分布式测量。
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| 关 键 词： | 义齿 压力测量 微机电系统(MEMS) Fabry-Perot(F-P)腔光纤压力传感器 复用 阵列波导光栅(AWG) |
Optical fiber MEMS pressure sensor for denture pressure distribution measurement |
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| ZHENG Zhi-xi,HUANG Yuan-qing and FENG Yong-jian.Optical fiber MEMS pressure sensor for denture pressure distribution measurement[J].Journal of Optoelectronics·laser,2012(12):2261-2266. |
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| Authors: | ZHENG Zhi-xi HUANG Yuan-qing and FENG Yong-jian |
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| Affiliation: | Department of Electronic Information,Putian University,Putian 351100,China;Department of Mechanical and Electrical Engineering,Xiamen University,Xiamen 361005,China;Department of Mechanical and Electrical Engineering,Xiamen University,Xiamen 361005,China |
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