| 可见与远红外分色滤光片的研制 |
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| 引用本文： | 杨洁,付秀华,张静. 可见与远红外分色滤光片的研制[J]. 激光与红外, 2011, 41(2): 182-186 |
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| 作者姓名： | 杨洁 付秀华 张静 |
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| 作者单位： | 长春理工大学,吉林,长春,130022 |
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| 摘 要： | 分色滤光片对成像光谱技术起着重要的作用.本文介绍了一种多通道成像系统中使用的宽光谱分色滤光片,实现了在锗基底上45°倾斜使用时,将0.65～1.1 μm和8～12 μm光谱分成两束光.借助OptiLayer膜系设计软件,得到易于制备的膜系结构,经过多次实验,确定合理的工艺参数,最终得到了光谱性能和理化性能较好的分色片.
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| 关 键 词： | 分色滤光片 优化设计 离子辅助沉积 环境可靠性 |
Study and fabrication of far-infrared and visible separation filter |
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| YANG Jie,FU Xiu-hu,ZHANG Jing. Study and fabrication of far-infrared and visible separation filter[J]. Laser & Infrared, 2011, 41(2): 182-186 |
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| Authors: | YANG Jie FU Xiu-hu ZHANG Jing |
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| Affiliation: | Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | separation filter optimization design ion assistant deposition environment reliability |
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