| 基于近场技术的微纳尺度热物性测量系统空间分辨率增强 |
| |
| 引用本文： | 刘燕,张超,郑利兵,王大正,孙方远,刘珠明.基于近场技术的微纳尺度热物性测量系统空间分辨率增强[J].测试技术学报,2022,36(1):73-79. |
| |
| 作者姓名： | 刘燕 张超 郑利兵 王大正 孙方远 刘珠明 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院 电工研究所,北京 100190;中国科学院大学,北京 100049;中国科学院 电工研究所,北京 100190;北京科技大学 能源与环境工程学院,北京 100083;冶金工业节能减排北京市重点实验室,北京 100083;广东省科学院 半导体研究所,广东 广州 510650 |
| |
| 摘 要： | 传统的脉冲激光时域热反射系统通常基于远场光学设计,对于微纳米材料热物性测量的空间分辨率约在3μm～10μm范围,不足以满足先进微电子器件和芯片的热物性测试要求.基于近场光学原理,本文研究了提升时域热反射系统空间分辨率的新颖技术方法,并建立了相应的实验系统.实验获得的微纳结构样品测量数据表明,基于近场技术的时域热反射系统...
|
| 关 键 词： | 近场探针 时域热反射 空间分辨率 微纳尺度热物性 界面热阻 |
Spatial Resolution Enhancement Technique for Micro-Nano Size Thermophysical Measurement System Based on Near Field Optic |
| |
| LIU Yan,ZHANG Chao,ZHENG Libing,WANG Dazheng,SUN Fangyuan,LIU Zhuming.Spatial Resolution Enhancement Technique for Micro-Nano Size Thermophysical Measurement System Based on Near Field Optic[J].Journal of Test and Measurement Techol,2022,36(1):73-79. |
| |
| Authors: | LIU Yan ZHANG Chao ZHENG Libing WANG Dazheng SUN Fangyuan LIU Zhuming |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
