| 多孔硅在高温退火过程中结构变化的研究 |
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| 引用本文： | 蔡红,沈鸿烈,黄海宾,唐正霞,鲁林峰,沈剑沧.多孔硅在高温退火过程中结构变化的研究[J].功能材料,2010,41(12). |
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| 作者姓名： | 蔡红 沈鸿烈 黄海宾 唐正霞 鲁林峰 沈剑沧 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目 |
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| 摘 要： | 采用电化学腐蚀的方法制备了不同孔径的多孔硅薄膜样品,并在1050℃高温下进行了退火。采用扫描电镜和拉曼光谱对多孔硅退火前后结构的变化进行了观察,根据晶体形核理论分析了孔径变化的机理,并从热力学角度对其微观机制进行了讨论。实验和理论分析的结果均表明,多孔硅的初始孔径存在一个临界值,初始孔径小于此临界值时,孔在高温退火中有收缩的趋势;反之,初始孔径大于此临界值时,孔有变大的趋势。
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| 关 键 词： | 多孔硅 高温退火 拉曼谱 形核理论 |
Study on structural changes in porous silicon during high-temperature annealing |
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| CAI Hong,SHEN Hong-lie,HUANG Hai-bin,TANG Zheng-xia,LU Lin-feng,SHEN Jian-cang.Study on structural changes in porous silicon during high-temperature annealing[J].Journal of Functional Materials,2010,41(12). |
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| Authors: | CAI Hong SHEN Hong-lie HUANG Hai-bin TANG Zheng-xia LU Lin-feng SHEN Jian-cang |
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