| MEMS Inductor Consisting of Suspended Thick Crystalline Silicon Spiral with Copper Surface Coating |
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| 作者姓名： | Wu Wengang Li Yi Huang Fengyi Han Xiang Zhang Shaoyong Li Zhihong Hao Yilong |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院 微米/纳米加工技术国家级重点实验室，北京 100871;北京大学微电子学研究院 微米/纳米加工技术国家级重点实验室，北京 100871;东南大学无线电系 射频与光电集成电路研究所，南京 210096;北京大学微电子学研究院 微米/纳米加工技术国家级重点实验室，北京 100871;东南大学无线电系 射频与光电集成电路研究所，南京 210096;北京大学微电子学研究院 微米/纳米加工技术国家级重点实验室，北京 100871;北京大学微电子学研究院 微米/纳米加工技术国家级重点实验室，北京 100871 |
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| 摘 要： | 报道了一种由悬浮在玻璃衬底上的表面镀铜平面单晶硅螺线构成的新型MEMS电感,可消除衬底损耗及减小电阻损耗.采用一种硅玻璃键合-深刻蚀成型释放工艺并结合无电镀技术制作该电感,形成厚约40μm的硅螺线,在硅螺线表面镀有高保形厚铜镀层,在铜镀层表面镀有起钝化保护作用的薄镍镀层.该电感的自谐振频率超过15GHz,在11.3GHz下,品质因子达到约40,电感值超过5nH.基于该电感的简化等效电路模型,采用一种特征函数法进行了参数提取,模拟结果与测量结果符合得很好.
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| 关 键 词： | MEMS电感 悬浮螺线 表面镀铜 品质因子 建模与参数提取 射频 MEMS inductor suspended spiral copper coating quality factor modeling and parameter extraction radio frequency 表面镀铜 单晶硅 螺线 MEMS 电感 Surface Coating Copper Spiral Silicon Crystalline good measurements Simulations based compact equivalent circuit model parameter extraction approach quality factor inductance |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)04-0662-05 |
| 收稿时间： | 12 2 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 2005年12月2日 |
MEMS Inductor Consisting of Suspended Thick Crystalline Silicon Spiral with Copper Surface Coating |
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| Wu Wengang,Li Yi,Huang Fengyi,Han Xiang,Zhang Shaoyong,Li Zhihong,Hao Yilong.MEMS Inductor Consisting of Suspended Thick Crystalline Silicon Spiral with Copper Surface Coating[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(4):662-666. |
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| Authors: | Wu Wengang Li Yi Huang Fengyi Han Xiang Zhang Shaoyong Li Zhihong and Hao Yilong |
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| Affiliation: | National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology,Institute of Microelectronics,Peking University,Beijing 100871,China;National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology,Institute of Microelectronics,Peking University,Beijing 100871,China;Institute of RF & OEICs,Southeast University,Nanjing 210096,China;National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology,Institute of Microelectronics,Peking University,Beijing 100871,China;Institute of RF & OEICs,Southeast University,Nanjing 210096,China;National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology,Institute of Microelectronics,Peking University,Beijing 100871,China;National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology,Institute of Microelectronics,Peking University,Beijing 100871,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS inductor suspended spiral copper coating quality factor modeling and parameter extraction radio frequency |
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