面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展 |
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引用本文: | 陈善勇,薛帅,熊玉朋,彭小强,戴一帆.面向制造的光学面形超精密测量技术研究进展[J].激光与光电子学进展,2023(3):177-190. |
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作者姓名: | 陈善勇 薛帅 熊玉朋 彭小强 戴一帆 |
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作者单位: | 1. 国防科技大学智能科学学院装备综合保障技术重点实验室;2. 超精密加工技术湖南省重点实验室 |
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基金项目: | 国家自然科学基金((51975578,51991371); |
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摘 要: | 超精密测量是光学制造的前提。高精度的光学面形测量仍然遵循零位检验原则,计算机生成全息图(CGH)是自由曲面等复杂面形零位检验所必需的补偿器。为此,面向制造过程,重点论述CGH补偿检验原理及其衍射级次的鬼像干扰、投影畸变校正、测量不确定度与绝对检验问题,探讨CGH补偿检验的局限与应对方法。针对制造过程中产生的动态演变局部大误差的测量难题,论述子孔径拼接测量、自适应补偿干涉测量方法,探讨加工原位干涉测量进展。最后,从超高精度测量与溯源、混合光学零件的宏微跨尺度测量、自主可控面形测量仪器及其原位集成三个方面对光学面形测量技术发展进行展望。
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关 键 词: | 测量 超精密测量 零位检验 光学面形计量 光学自由曲面 计算机生成全息图 |
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