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| 国产首台直写式光刻机在合肥问世 | |
| 引用本文： | 章从福.国产首台直写式光刻机在合肥问世[J].半导体信息,2008(1). |
| 作者姓名： | 章从福 |
| 摘 要： | 据《中国电子报》2008年1月1日报道,中国首台拥有完全自主知识产权的直写式光刻机在合肥面世,标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。光刻机是生产电子芯片的最关键设备之一,电子芯片内的电路图案都是由光刻机产生的。每一代半导体技术的发展都是以光刻线宽为代 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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