喷墨打印OLED发光层像素坑内成膜控制方法 |
| |
引用本文: | 朱红,陈建魁,岳晓,熊镜凯,熊佳聪,高国雄.喷墨打印OLED发光层像素坑内成膜控制方法[J].液晶与显示,2022(11):1420-1429. |
| |
作者姓名: | 朱红 陈建魁 岳晓 熊镜凯 熊佳聪 高国雄 |
| |
作者单位: | 1. 华中科技大学机械科学与工程学院数字制造装备与技术国家重点实验室;2. 武汉国创科光电装备有限公司 |
| |
基金项目: | 国家重点研发计划(No.2018YFA0703203);;广东省重点领域研发计划(No.2019B010924005);;国家自然科学基金面上项目(No.51975236)~~; |
| |
摘 要: | 在OLED发光层喷墨打印制备中,像素坑内成膜厚度控制是抑制器件产生Mura缺陷的关键。不同喷孔液滴体积差异和液滴错误沉积引起的像素坑内融合溶液体积变化,是造成发光层膜厚不一致的主要原因。为解决膜厚一致性问题,本文提出了基于液滴体积控制与沉积定位控制的OLED发光层成膜控制方法。首先调节驱动波形使不同喷孔产生体积适配的液滴;然后检测各喷孔的液滴落点位置,通过偏移补偿和异常喷孔筛选控制液滴精准沉积;最后使用不同液滴混合方法控制像素坑内溶液体积。在实验中,将液滴沉积定位偏差控制在±10μm,将液滴混合后溶液体积差异控制在±4%,测量干燥固化后的薄膜厚度,结果表明,不同像素坑膜厚一致性提高至95%以上,获得了发光均匀的OLED器件。本文提出的膜厚一致性控制方法达到预期、满足OLED功能层制备要求。
|
关 键 词: | 喷墨打印 OLED 成膜控制 体积控制 沉积定位 膜厚一致性 |
|
|