| 热氧化温度对磁控溅射CrTiAlN梯度镀层表面形貌与组织结构的影响 |
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| 引用本文： | 白力静,蒋百灵,文晓斌,张国君,何家文. 热氧化温度对磁控溅射CrTiAlN梯度镀层表面形貌与组织结构的影响[J]. 材料热处理学报, 2005, 26(4): 111-114 |
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| 作者姓名： | 白力静 蒋百灵 文晓斌 张国君 何家文 |
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| 作者单位： | 西安交通大学材料学院,陕西,西安,710049;西安理工大学材料学院,陕西,西安,710048;西安理工大学材料学院,陕西,西安,710048;西安交通大学材料学院,陕西,西安,710049 |
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| 基金项目： | 西安理工大学校研究基金项目（210103）;中青年科技创新计划（210403） |
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| 摘 要： | 采用SEM和XRD法，分析了磁控溅射CrTiAliN梯度镀层的表面与断口形貌及其相组成随加热温度的变化规律。研究表明：CrTiAliN镀层在600℃之前物相和组织结构保持稳定，随后的升温过程中有相变行为，随着温度的升高，物相由以致密的非晶态物质为主，依次出现CrN、Cr2O3相和AlN等物相；相变的发生有利于镀层保持高温硬度和结合力。加热至900℃时，尽管在镀层表面观察到微区融化现象，但膜基结合紧密；加热至1100℃时镀层表面出现开裂并伴有剥落现象。从温度对镀层的氧化形貌及物相、组织转变机理分析，CrTiAlN梯度镀层在≤900℃时有良好的热稳定性。
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| 关 键 词： | 氧化 磁控溅射 梯度镀层 |
| 文章编号： | 1009-6264（2005）04-0100-04 |
| 收稿时间： | 2004-11-22 |
| 修稿时间： | 2004-11-222005-01-15 |
Influence of Oxidized Temperature on Surface Morphology and Microstructure of Magnetron Sputtered CrTiAliN Gradient Coatings |
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| BAI Li-jing,JIANG Bai-ling,WEN Xiao-bin,ZHANG Guo-jun,HE Jia-wen. Influence of Oxidized Temperature on Surface Morphology and Microstructure of Magnetron Sputtered CrTiAliN Gradient Coatings[J]. Transactions of Materials and Heat Treatment, 2005, 26(4): 111-114 |
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| Authors: | BAI Li-jing JIANG Bai-ling WEN Xiao-bin ZHANG Guo-jun HE Jia-wen |
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| Affiliation: | BAI Li-jing~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | oxidation magnetron sputtered gradient coatings |
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