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微机械梳状陀螺仪的瞬态分析
引用本文:唐海林,程永生,苏伟.微机械梳状陀螺仪的瞬态分析[J].太赫兹科学与电子信息学报,2004,2(2):118-120.
作者姓名:唐海林  程永生  苏伟
作者单位:中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
基金项目:总装备部引信技术预先研究基金资助项目(413050401-2)
摘    要:为了研究微陀螺敏感模态和驱动模态的固有频率与机械灵敏度以及相位漂移、稳定性的关系,利用敏感电压的负刚度效应调节两模态间的固有频率差,通过CovcntorWare软件进行瞬态分析,经优化仿真后得到了在一定的频率差下微陀螺的最佳性能。

关 键 词:仪器仪表技术  性能  瞬态分析  微陀螺  固有频率
文章编号:1672-2892(2004)02-0118-03
修稿时间:2004年1月4日

Transient Analysis of a Micro Gyroscope
TANG Hai-lin,CHENG Yong-sheng,SU Wei.Transient Analysis of a Micro Gyroscope[J].Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology,2004,2(2):118-120.
Authors:TANG Hai-lin  CHENG Yong-sheng  SU Wei
Abstract:The relationship among the sense and drive resonant frequencies and the mechanical sensitivity,stability,phase shift is studied through utilizing the electrostatic negative spring of sensing voltage to adjust the frequency in this paper.The optimal performance of the micro gyroscope is obtained in certain frequencies mismatch with CoventorWare finally.
Keywords:instrument technology  performance  transient analysis  micro gyroscope  resonant frequency
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