高性能简式反磁控冷阴极电离规的研制

就放电空间磁场强度及其分布对冷规灵敏度、运用条件等的影响进行了分析和讨论,提出了使冷规获得高灵敏度的磁场分布新观点,并给出了高灵敏度冷规的磁结构。新磁结构冷规性能测试表明:由于灵敏度的提高,在2×10~(-8)Pa时,冷规着火时间可缩短40%;所用磁钢中心值可从1600高斯降至900高斯,工作电压也可降低600伏,冷规成本因此约降低50%;此外,电压值的降低还使得漏电减小了一个数量级,从而拓宽了可测下限。