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| 《电子工业用气体 三氟化硼》国家标准简介 | |
| 作者姓名： | 李景兴 |
| 作者单位： | 化工部光明化工研究所 |
| 摘 要： | 《电子工业用气体三氟化硼》国家标准经国家技术监督局批准发布，已于１９９４年７月１日开始实施，标准编号为ＧＢ／１４６０３─９３。该标准非等效采用（美国）半导体设备和材料学会（ＳＥＭＩ）气体标准Ｃ３ＳＴＤ．２７─８８《钢瓶装三氟化硼（ＢＦ３）》。该标准由化工部光明化工研究所负责起草，核工业部理化工程研究院、中国人民解放军北京军区红星单晶硅厂参加起草。化工部西南化工研究院技术归口。高纯三氟化硼是硅和锗外延、扩散和离子注入过程的Ｐ型掺杂源，可作为制备光纤预制件的原料，还可用来制造乙硼烷、三氯化硼等。在许… |
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