《电子工业用气体 三氟化硼》国家标准简介 |
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作者姓名: | 李景兴 |
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作者单位: | 化工部光明化工研究所 |
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摘 要: | 《电子工业用气体三氟化硼》国家标准经国家技术监督局批准发布,已于1994年7月1日开始实施,标准编号为GB/14603─93。该标准非等效采用(美国)半导体设备和材料学会(SEMI)气体标准C3STD.27─88《钢瓶装三氟化硼(BF3)》。该标准由化工部光明化工研究所负责起草,核工业部理化工程研究院、中国人民解放军北京军区红星单晶硅厂参加起草。化工部西南化工研究院技术归口。高纯三氟化硼是硅和锗外延、扩散和离子注入过程的P型掺杂源,可作为制备光纤预制件的原料,还可用来制造乙硼烷、三氯化硼等。在许…
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