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| 采用声光偏转器(AOD)的高速激光束扫描 | |
| 引用本文： | S.Hosaka,朱翠英.采用声光偏转器(AOD)的高速激光束扫描[J].压电与声光,1988(4). |
| 作者姓名： | S.Hosaka 朱翠英 |
| 作者单位： | 日·日立公司中心研究室 |
| 摘 要： | 我们在理论上和实验上研完了用声光偏转器(AOD)的高速激光束扫描的圆柱透镜的效应。结果,在高速激光束扫描过程中,发现了静态和动态圆柱透镜效应。为实现高速激光速扫描,圆柱透镜补偿是非常重要的。这种补偿的实例是改善电压-频率变换器以及在AOD后用一个圆柱透镜。利用这样的补偿方法,可抑制焦点位置对标称焦平面的偏离,若斜波信号频率为20kHz,当激光束以10m/s的扫描速度在焦平面上扫描过300μm时,可使焦点位置与标称焦平面的偏离保持在4μm以 |
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