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| SOI集成光电子器件 | |
| 引用本文： | 魏红振,余金中,张小峰,刘忠立,史伟,房昌水. SOI集成光电子器件[J]. 半导体光电, 2001, 22(1): 7-11 |
| 作者姓名： | 魏红振 余金中 张小峰 刘忠立 史伟 房昌水 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体所 2. 中国科学院半导体所 微电子中心, 3. 山东大学 人工晶体研究所, |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;69896260，69990540; |
| 摘 要： | Silicon-on-insula tor(SOI)集成光电子器件的工艺与标准CMOS工艺完全兼容，采用SOI技术可以实现低成本的整片集成光电子回路。文章回顾了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展。 |
| 关 键 词： | SOI 集成光学 光电集成 光波导 光电子器件 |
| 文章编号： | 1001-5868(2001)01-0007-05 |
SOI-based Optoelectronic Devices |
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| WEI Hong-zhen,YU Jin-zhong,ZHANG Xiao-feng,LIU Zhong-li,SHI Wei,FANG Chang-shui. SOI-based Optoelectronic Devices[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2001, 22(1): 7-11 | |
| Authors: | WEI Hong-zhen YU Jin-zhong ZHANG Xiao-feng LIU Zhong-li SHI Wei FANG Chang-shui |
| Affiliation: | WEI Hong zhen 1,YU Jin zhong 1,ZHANG Xiao feng 1,LIU Zhong li 2,SHI Wei 3,FANG Chang shui 3 |
| Abstract: | Silicon-on-insulator (SOI) is an attractive platform for fabrication of optoelectronic devices. A very thin SiO 2 film in SOI optoelectronic device makes the processing of this structure highly compatible with standard silicon CMOS technology. This technology is attractive for highly integrated optoelectronic circuits with low cost. The paper reviews recent developments in SOI based optoelectronic devices. |
| Keywords: | silicon-on-insulator integrated optics OEIC optical waveguide |
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