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杂志ISSN号
油扩散泵两种抽速测量方法的比较
作者姓名:
JKN.Sharma
DR Sharma
张书范
摘 要:
本文提出了介绍油扩散泵两种抽速测量方法的比较研究。所使用的方法是试验罩法和带有辅助抽气系统的流导管法。这个辅助抽气系统是在流量低于 10-5Nms-1(~0.1μls-1)时的很低压力下使用。人们发现为了得到在重叠压力范围用两种方法测量油扩散泵抽速比较结果,当规管距泵口法兰是D/2时,即得到泵本征抽速的试验罩法的同样位置,流导管法中的流导管应安排在距泵口1.2D的高度。
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