提高EXAC—2000型能谱仪分析准确度的测试条件研究

X光能谱仪在低束流条件下能对Z≥11的所有元素作快速无标样微区定量分析,而且适合于比较粗糙的表面分析,故其应用日益扩大。但能谱分析的准确度较波谱低,故能谱工作者应掌握日常所操作仪器其分析误差最小的测试条件,从而提高分析结果的准确性。本方法是在EXAC—2000/DX系统上试验的,原则上可在各类能谱仪上应用。按本方法所定出的测试条件对一般样品作无标样定量分析,其相对误差通常可在70％以下。