HI-13串列加速器升级工程中的QWR超导腔溅射工艺线介绍

HI-13串列加速器升级工程中超导直线增能器所使用的4个QWR铜铌超导腔将由我院自主加工溅射。整套溅射工艺线主要由高真空溅射炉、电抛光设备、高压水冲洗设备组成，与之相配套的还有纯水生产设备和冷却水循环设备。