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| 大面积取向生长碳纳米管的ECR-CVD方法制备与表征 | |
| 引用本文： | 王志,巴德纯,刘飞,曹培江,杨天中,顾有松,庞世谨.大面积取向生长碳纳米管的ECR-CVD方法制备与表征[J].真空科学与技术学报,2004,24(5):385-388. |
| 作者姓名： | 王志 巴德纯 刘飞 曹培江 杨天中 顾有松 庞世谨 |
| 作者单位： | 1. 东北大学真空与流体工程研究中心,沈阳,110004;沈阳航空工业学院,沈阳,110034 2. 东北大学真空与流体工程研究中心,沈阳,110004 3. 中国科学院物理研究所,北京,100080 4. 北京科技大学,北京,100083 |
| 摘 要： | 本文采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD),以CH4和H2为气源、Fe3O4 纳米粒子为催化剂,未加电场,在多孔硅基底上制备出大面积取向生长碳纳米管.使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射(XRD)、X射线能量色散分析(EDX)对样品形貌和结构进行表征.结果显示:合成的碳纳米管为多壁碳管;碳纳米管直径60 nm～90 nm,长度约8 μm;碳纳米管展现出中空管状和链状两种结构;碳纳米管的生长采取催化剂底端生长模式. |
| 关 键 词： | 取向生长 碳纳米管 纳米粒子 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)05-0385-04 |
| 修稿时间： | 2003年11月6日 |
Synthesis and Characterization of Large Area Well-Aligned Carbon Nanotubes by Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition (ECR-CVD) |
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| Wang Zhi ,Ba Dechun ,Liu Fei ,Cao Peijiang ,Yang Tianzhong ,Gu Yousong and Pang Shijin.Synthesis and Characterization of Large Area Well-Aligned Carbon Nanotubes by Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition (ECR-CVD)[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2004,24(5):385-388. | |
| Authors: | Wang Zhi Ba Dechun Liu Fei Cao Peijiang Yang Tianzhong Gu Yousong and Pang Shijin |
| Affiliation: | Wang Zhi 1,2,Ba Dechun 1*,Liu Fei 3,Cao Peijiang 3,Yang Tianzhong 3,Gu Yousong 4 and Pang Shijin 3 |
| Abstract: | |
| Keywords: | ECR-CVD |
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