| 多倍程激光干涉仪光路几何特性分析 |
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| 引用本文： | 施玉书,高思田,卢明臻,崔建军,杜华.多倍程激光干涉仪光路几何特性分析[J].计量学报,2008,29(Z1). |
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| 作者姓名： | 施玉书 高思田 卢明臻 崔建军 杜华 |
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| 摘 要： | 针对纳米计量高分辨力的要求,应用光学倍程法设计了一套基于Michelson激光干涉仪原型的多倍程激光干涉系统.该系统光源由保偏光纤直接导入,采用共光路、立体空间布局设计.通过建立模型分析该干涉系统的几何特性,得出移动镜偏转对该系统带来的影响可以得到有效补偿,因而光路具有很好的稳定性.出射的参考光与测量光始终保持平行,便于干涉系统光路的整体布局与信号接收,同时易于光路的调节从而获得对比度高、信噪比好的干涉信号.
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| 关 键 词： | 计量学 光学倍程 干涉仪 纳米计量 几何特性 |
Analysis of the Geometric Characters of Optical Multi-pass laser Interferometer |
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| SHI Yu-shu,GAO Si-tian,LU Ming-zhen,CUI Jian-jun,DU Hua.Analysis of the Geometric Characters of Optical Multi-pass laser Interferometer[J].Acta Metrologica Sinica,2008,29(Z1). |
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| Authors: | SHI Yu-shu GAO Si-tian LU Ming-zhen CUI Jian-jun DU Hua |
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