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| SOI CMOS器件及其应用 | |
| 作者姓名： | 翁寿松 |
| 作者单位： | 无锡市罗特电子有限公司,江苏无锡214002 |
| 摘 要： | 介绍SOI技术及其形成方法。介绍SOI CMOS器件的优点、全耗尽(FD)SOI CMOS器件的特点及其应用。 |
| 关 键 词： | SOI技术 SOI CMOS器件 薄膜SOI CMOS器件 应用 |
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