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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
SOI CMOS器件及其应用
作者姓名:
翁寿松
作者单位:
无锡市罗特电子有限公司,江苏无锡214002
摘 要:
介绍SOI技术及其形成方法。介绍SOI CMOS器件的优点、全耗尽(FD)SOI CMOS器件的特点及其应用。
关 键 词:
SOI技术 SOI CMOS器件 薄膜SOI CMOS器件 应用
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