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| 金刚石薄膜热导率的研究现状 | |
| 引用本文： | 赵齐,代明江,韦春贝,邱万奇,侯惠君. 金刚石薄膜热导率的研究现状[J]. 材料导报, 2013, 27(Z1): 201-206 |
| 作者姓名： | 赵齐 代明江 韦春贝 邱万奇 侯惠君 |
| 作者单位： | 1. 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院),广州510651;华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640 2. 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院),广州,510651 3. 华南理工大学材料科学与工程学院,广州,510640 |
| 基金项目： | 广东省科技计划项目(2011A081301003) |
| 摘 要： | 分析了金刚石薄膜热导率的声子导热机理,从金刚石薄膜晶体结构的角度总结了影响热导率的因素,例如晶界、晶内杂质、缺陷、晶粒尺寸、晶粒取向、同位素;从金刚石薄膜合成工艺角度探讨了影响金刚石薄膜热导率的因素,例如基底材料及预处理、合成温度、气源及添加气体(氧气、氮气)、工作压强、功率等. |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 热导率 晶粒尺寸 反应温度 |
Research Status of Thermal Conductivity of Diamond Films |
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| ZHAO Qi , DAI Mingjiang , WEI Chunbei , QIU Wanqi , HOU Huijun. Research Status of Thermal Conductivity of Diamond Films[J]. Materials Review, 2013, 27(Z1): 201-206 | |
| Authors: | ZHAO Qi DAI Mingjiang WEI Chunbei QIU Wanqi HOU Huijun |
| Affiliation: | 1(1 Guangdong General Research Institute for Industrial Technology(Guangzhou Research Institute of Non-ferrous Metals),Guangzhou 510651;2 School of Materials Science and Engineering,South China University of Technology,Guangzhou 510640) |
| Abstract: | |
| Keywords: | diamond film thermal conductivity grain size reaction temperature |
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