| 多层陶瓷电容器流延瓷膜的原子力显微镜分析 |
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| 引用本文： | 马丽丽,包生祥,戴林杉,曾慧中. 多层陶瓷电容器流延瓷膜的原子力显微镜分析[J]. 电子显微学报, 2005, 24(4): 318-318 |
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| 作者姓名： | 马丽丽 包生祥 戴林杉 曾慧中 |
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| 作者单位： | 电子科技大学材料分析中心,四川,成都,610054 |
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| 摘 要： | 电介质资料流延膜的制作是生产多层陶瓷电容器（MLC）的关键工序，流延膜的平整度，致密性，表面形貌等是影响MLC的性能和可靠性的关键因素之一。原子力显微镜（AFM）可不经导电处理直接观察电介质瓷膜的表面微结构。AFM作为表面形貌观察手段，一般被用来分析晶粒尺寸小和表面平整的样品，一般被用来分析晶粒尺寸小和表面平整的样品，对于大晶粒和粗糙表面的成像质量并不理想。在我们以前粗糙表面的AFM成像研究的基础上，
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| 关 键 词： | 多层陶瓷电容器 原子力显微镜分析 流延膜 原子力显微镜（AFM） 表面形貌 晶粒尺寸 粗糙表面 表面微结构 AFM成像 |
Microstructure analysis of multilayer capacitor(MLC) green tapes by AFM |
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| MA Li-li,BAO Sheng-xiang,DAI Lin-shan,ZENG Hui-zhong. Microstructure analysis of multilayer capacitor(MLC) green tapes by AFM[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2005, 24(4): 318-318 |
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| Authors: | MA Li-li BAO Sheng-xiang DAI Lin-shan ZENG Hui-zhong |
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