| 基于钯纳米颗粒导电沟道的室温型氢气传感器的研究 |
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| 引用本文： | 涂建鑫,邹 杰,孙靖远,张文冰,毕春跃,谢光忠,简家文.基于钯纳米颗粒导电沟道的室温型氢气传感器的研究[J].传感技术学报,2024,37(1):16-21. |
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| 作者姓名： | 涂建鑫 邹 杰 孙靖远 张文冰 毕春跃 谢光忠 简家文 |
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| 作者单位： | 宁波大学信息科学与工程学院,电子科技大学光电科学与工程学院,浙江万里学院大数据与软件工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（61971251）；;中国博士后科学基金项目（2019M663474）；;浙江省自然科学基金项目（LGG22F010017,LY18F010009）；;宁波市自然科学基金项目（2018A610002,202003N4325）； |
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| 摘 要： | 随着氢能的广泛应用，检测氢气(H2)泄漏十分必要。采用溶剂热法合成钯(Pd)纳米颗粒，结合旋涂法从极大程度上简化了覆盖敏感层工艺，在利用微机电系统(MEMS)工艺制备的硅基金(Au)叉指电极上研究了基于“氢致Pd晶格膨胀效应(HILE)”的裂结式H2传感器的敏感特性，为低成本批量化制备室温型氢气传感器提供了可行性研究。结果表明该传感器对H2的响应值与Pd纳米颗粒在基底上的覆盖率密切相关：覆盖率在一定范围内越大，响应值越小。在室温下，该类传感器对500×10-6～2 500×10-6H2表现出了较快的响应速度：响应时间在5 s左右，恢复时间在25 s左右，具有较高的响应值：在2 500×10-6H2气氛下高达83%，有较好的选择性和稳定性。
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| 关 键 词： | 叉指电极 氢气 传感器 Pd纳米颗粒 氢致晶格膨胀 |
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