薄膜反馈式节流器的结构设计

薄膜反馈式节流器因反馈精度高，常被用于液体静压转台中。目前，国内液体静压转台高精度缺乏、需求激增，为了提高转台精度，设计了一种新型薄膜反馈式节流器，以获得稳定的高刚度油膜，并采用Ansys进行双向流固耦合分析，获得液压油的流速和压力分布；然后，对比PM流量控制器，结果表明随着入口压力的增加，两者的薄膜最大变形量均呈近似线性关系递增，其递增率仅相差0.11,因此证明所设计的节流器是合理可行的；最后，对基于薄膜反馈式节流的液体静压转台进行性能测试，结果表明转台的各项性能指标均能达到要求：承载力大于1000 kg、刚度大于2077 N/μm、轴向跳动小于1μm,表明设计的节流器是合理可行的。