永磁直线电机驱动XY平台精密轮廓跟踪控制

为了减少高速进给率条件下轮廓跟踪过程中产生的轮廓误差，提出了一种将PDFF位置控制器与模糊交叉耦合控制器相结合的控制策略。首先，通过调节前馈增益，PDFF位置控制器可以综合利用PDF控制和PI控制的优点；其次，基于自由曲线轮廓误差模型来计算轮廓误差，并且提出一种以两轴的位置跟踪误差以及轮廓误差为输入的模糊交叉耦合器来减少轮廓跟踪过程中产生的轮廓误差；最后，空载与负载实验结果表明，与传统的交叉耦合结构相比，该方法在高速进给率条件下可以有效降低XY平台的轮廓误差，并且可以提高轮廓跟踪系统的鲁棒性。