| 128×160元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面阵列 |
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| 引用本文： | 苏艳梅,种明,张艳冰,胡小燕,孙永伟,赵伟,陈良惠. 128×160元GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面阵列[J]. 半导体学报, 2005, 26(10): 2044-2047 |
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| 作者姓名： | 苏艳梅 种明 张艳冰 胡小燕 孙永伟 赵伟 陈良惠 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室 北京100083(苏艳梅，种明，孙永伟)，中国电子科技集团第十一研究所(华北光电所) 北京100015(张艳冰，胡小燕)，中科光电有限公司 北京100083(赵伟)，中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室 北京100083(陈良惠) |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 研制了128×160元GaAs/AlGaAs多量子阱红外焦平面阵列，它是目前国内报道的最大像元数的量子阱红外焦平面阵列. 77K时，器件的平均黑体响应率Rv＝2.81e7V/W,平均峰值探测率Dλ=1.28e10cm·W-1·Hz1/2，峰值波长λp=8.1μm，器件的盲元率为1.22%.
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| 关 键 词： | 红外探测器；量子阱；焦平面阵列 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)10-2044-04 |
| 修稿时间： | 2005-07-11 |
A 128×160 Pixel GaAs/AlGaAs Multi-Quantum Well Long-Wavelength Infrared Photodetector Focal Plane Array |
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| Su Yanmei,Chong Ming,Zhang Yanbing,Hu Xiaoyan,Sun Yongwei,Zhao Wei,Chen Lianghui. A 128×160 Pixel GaAs/AlGaAs Multi-Quantum Well Long-Wavelength Infrared Photodetector Focal Plane Array[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 26(10): 2044-2047 |
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| Authors: | Su Yanmei Chong Ming Zhang Yanbing Hu Xiaoyan Sun Yongwei Zhao Wei Chen Lianghui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | infrared photodetectors quantum well focal plane arrays |
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